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產品標題:FD-9BL雙面天博平台機(帶修面)

產品分類: 雙面天博平台機系列
天博平台的服務:
訂購熱線:18503017378
9B雙面天博平台機_看圖王

高精密可修面雙面天博平台機

主要用途:

該雙面天博平台機主要用于硅片、砷化鎵片、陶瓷片、石英晶體、光電玻璃及其他硬脆材料的雙面高精度天博平台、拋光。

工作原理:

2.本系列天博平台機為超高精密天博平台設備,上、下天博平台盤作相反方向轉動,工件在載體內作既公轉又自轉的游星運動。磨削阻力小不損傷工件,而且兩面均勻磨削生產效率高。

2.本系列天博平台機修整機構采用油壓懸浮導軌前后往復運動,金剛石修面刀給天博平台盤的天博平台面進行平面修整。

特 點

1. 本系列天博平台機的上、下天博平台盤可進行自動修盤。

2. 采用四個電機同步拖動,變速范圍更廣,運動精度更高,響應速度更快,能適應不同天博平台材料及天博平台工藝的要求,實現了軟啟動、軟停止,調速穩定,沖擊小。

3. 修面機采用伺服馬達驅動,能確保油壓懸浮導軌滑動更加平穩,得到的平面修整效果非好。

4. 控制系統中采用DSP、Web-Link、彩色終端等先進技術,系統的響應速度更快、更精確,并具有遠程監控,遠程維護功能;

5. 本系列天博平台機有光柵厚度控制系統,加工后的產品厚度公差可控制在±0.002mm范圍內。

技術參數:

型 號

FD--9B

天博平台盤規格:

φ635×φ240×12t

天博平台 最大加工工件尺寸

天博平台 φ200mm

工件平面度(25mm)

±0.2u以內

工件平行度(25mm)

±0.4u以內

天博平台 工件粗糙度(石英材料)

0.4nm以內

天博平台 天博平台盤修面后平行度

天博平台 ±2u以內

天博平台 游輪規格

φ230mm

游輪數量

5 枚

下天博平台盤轉速

0~140rpm

天博平台 下天博平台盤電機功率

天博平台 2.2kw 3相380V

天博平台 上天博平台盤天博平台轉速

0~60rpm

上天博平台盤電機功率

天博平台 1.5kw 3相380V

上天博平台盤修面轉速

0~140rpm

天博平台 上天博平台盤修面電機功率

0.75kw 3相380V

天博平台 太陽輪轉速

0~60rpm

太陽輪電機功率

0.75kw 3相380V

外齒輪轉速

天博平台 0~30rpm

天博平台 外齒輪電機功率

0.75kw 3相380V

修面機速度

天博平台 200mm/分鐘

天博平台 修面機伺服馬達功率

750w

天博平台 外形尺寸:

1200×1650×2400mm

天博平台 重量:

2300kg






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